План:
Введение
1 Выращивание монокристаллов из расплавов
1.1 Метод Чохральского
1.2 Метод Вернейля
2 Выращивание монокристаллов из растворов
2.1 Кристализация при испарении растворителя
2.2 Кристализация с условиях встречной диффузии
3 Выращивание монокристаллов из газовой фазы
3.1 Химические реакции в газовой фазе
3.2 Химические транспортные реакции
4 Кристаллизация из твердой фазы
4.1 Рекристаллизация
4.2 Кристаллизация алмаза
Заключение
Введение
1. Выращивание монокристаллов из расплавов
Рис. 1. Приборы для выращивания монокристаллов Наккена (а), Штёбера (б) и Бреннера (в)
Уравнение теплового баланса:
где Q1 — подводимое тепло, g — вес вещества, Qплg — скрытая теплота кристаллизации.
Рис. 2. Выращивания монокристаллов из расплавов
Рис. 5. Начальная стадия выращивания цилиндрической части монокристалла кремния в направлении (100)
Преимущества:
1.2 Метод Вернейля
Рис. 6. Установка для выращивания кристаллов по методу Вернейля:1 - механизм опускания кристалла; 2 – кристаллодержатель; 3 - растущий кристалл; 4 – муфель; 5 – горелка; 6 – бункер; 7 - механизм встряхивания; 8 – катетометр.
В новой конструкции аппарата Попова разработана точно регулируемая подача шихты. Методом Вернейля—Попова выращивают:
сапфиры, двухцветные сапфиры;
рубины;
корунды нехарактерных цветов;
шпинель;
фабулит;
рутил.
Рис. 7. Выращенные синтетические драгоценные камни методом Вернейля
Преимущества метода:
отсутствие флюсов и дорогостоящих материалов тиглей;
отсутствие необходимости точного контроля температуры;
возможность контроля за ростом;
высокая скорость роста (несколько часов).
Недостатки:
нарушения и деформация кристаллической решётки;
внутренние напряжения в булях;
неоднородность состава;
неравномерная окраска;
наличие посторонних примесей и частиц нерасплавившейся шихты.
Все методы выращивания монокристаллов из растворов основаны на использовании зависимости концентрации С вещества в растворе от термодинамических параметров, определяющих состояние системы
𝐶𝐶=𝑓𝑓(𝑝𝑝,𝑇𝑇, с ′ с с ′ ′ с ′ ),
где с'— концентрация вспомогательных веществ, которые в случае многокомпонентной системы могут находиться в растворе. Величиной пересыщения можно управлять, изменяя по уравнению концентрацию С. В зависимости от того, какой параметр (T, р или с') определяет изменение концентрации С.
2. Выращивание монокристаллов из растворов
Рис. 8. Выращивание монокристаллов из растворов
Рис. 9. Диаграмма фазового равновесия сплавов, компоненты которых неограниченно растворимы в жидком и твердом состояниях. Диаграммы такого типа имеют системы: Ni−Cu, Ag − Au, Mo − V, Mo − W.
2.1 Кристаллизация при испарении растворителя
Кристаллизация при изменении растворимости, испарении растворителя и при химическом осаждении.
Рис. 11. Схема термостатированного кристаллизатора:
1 − сифон;
2 − титановая ось;
3 − цанговые зажимы;
4 − стержневые затравки;
5 − стеклянный шариковый холодильник;
6 − ложное дно.
Рис. 10. Выпарной кристаллизатор с выносной греющей камерой:
1 − греющая камера;
2 − сепаратор;
3 − циркулярная труба;
4 − отделитель кристаллов.
где Q − количество конденсата, сливаемого за сутки (в см);
S − суммарная площадь форм (в см);
𝜆𝜆 − скорость роста кристаллов по нормали к растущей грани (в см);
d − удельный вес кристалла;
С − растворимость сульфата лития (в г/л) при температуре выращивания.
Скорость выращивания кристаллов регулируется количеством сливаемого конденсата. После завершения периода регенерации затравок слив конденсата остается постоянным, так как площадь растущих поверхностей не меняется в продолжение всего цикла выращивания. Скорость выращивания, равная 1.5-2 мм/сут, рассчитывается по формуле
2.2 Кристаллизация в условиях встречной диффузии
Пересыщение создается за счет химической реакции в условиях встречной диффузии веществ, если растворимость образующегося вещества меньше растворимости исходных веществ. К таким реакциям можно отнести, например,
Рис. 15. Кристаллизатор для выращивания кристаллов по химической реакции с пространственно разобщенным камерами с исходными веществами:
1 − образовавшиеся кристаллы; 2 − пробка.
3. Выращивание монокристаллов из газовой фазы
Рис. 17. Выращивание кристаллов из циркулирующего раствора:
А и В − сообщающиеся сосуды.
3.1 Химические реакции в газовой фазе
Монокристаллические пленки вольфрама получают за счет восстановления его галогенидов:
Рис. 19. Демонстрация реакций в газовой фазе
3.2 Химические транспортные реакции
Рис. 20. Летучие бинарные соединения водорода
Рис. 21. Процесс производства интегральных схем
Материалы на данной страницы взяты из открытых источников либо размещены пользователем в соответствии с договором-офертой сайта. Вы можете сообщить о нарушении.