ИНДИВИДУАЛЬНЫЙ ПЛАН РАБОТЫ МАГИСТРАНТА

УТВЕРЖДАЮ Декан   факультета  ____________________________________ « _____ » ___________ 20 _____ г. м.п. ИНДИВИДУАЛЬНЫЙ   ПЛАН РАБОТЫ МАГИСТРАНТА ____ (Фамилия, имя, отчество)     Форма обучения (очная, заочная) _________________________________________________  физический________________________________________________________ Факультет        экспериментальной   физики_________________________________________ Кафедра           Научный руководитель: (Ф.И.О., уч. степень и звание, должность     Год начала подготовки: _._________________________________________ Направление подготовки: _электроника и наноэлектроника_________________________ ______________________________________________________________________________ Наименование магистерской программы       физика полупроводников и диэлектриков____ ______________________________________________________________________________ Тема магистерской диссертации и ее аннотация: Неразрушающие методы контроля ионно­лучевого травления гетероструктур.    Проблема   контроля   за   процессами   ионно­лучевого   травления   существует   давно. Решается она множеством способов, начиная от оптических, спектроскопических, лучевых, рентгеновских   методов,   и,   заканчивая   методами   кварцевого   резонатора   и   наведенных токов. Для непосредственного контроля ИЛТ служат методы: 1) кварцевого резонатора, но очень   неудобен   и   дорог;   2)   метод   наведенных   токов   (может   применяться   только   для источников   типа   Кауфмана);   3)   резистивный   метод   (сложности   со   «свидетелями»);   4) фотометрические   (использование   лазера)   и   так   далее.   Из   всего   этого   набора   наиболее перспективными   являются   методы   неразрушающего   контроля,   использующие   сигналы вторичных явлений, которые возникают при бомбардировке структуры ионами. Одним из таких методов является использование сигнала ионно­электронной эмиссии для контроля за процессами ИЛТ.  Расширение   возможности   применения   этого   метода   является   задачей предпологаемого исследования. .  Целью работы является обоснование выбора метода неразрушающего контроля – ионно­лучевого травления гетеро структур для оценки создания топологического рисунка. Срок представления магистрантом диссертации  май 2017 г.___________________________ Содержание профессионально­образовательной программы: № п/п Наименование учебных дисциплин, практик, иных видов работ Кол­во часов (з.е./ауд.) Формы  аттестации Планируемый срок  аттестации  (контроля) 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. 8. 9. 10. 11. Компьютерные технологии в  научных исследованиях. Методы физических измерений Новые направления физического  материаловедения Актуальные проблемы современной  электроники и наноэлектроники ФПП и диэлектриков Физика и технология керамических  и нанокомпозитных  материалов. Спец. практикум Методы   контроля   параметров полупроводников Физика и технология электрических переходов. Технология   наноматериалов   и структур Физика тонких пленок. 60 32 30 40 90 60 31 36 36 46 36 экзамен зачет зачет зачет экзамен зачет зачет зачет зачет экзамен зачет              Дисциплины специализации магистров 2 года обучения 1. 2. 3. 4. 5. Элементная база   основы Физические наноструктур Современные методы диагностики   п/п Проектирование   и   технология электронной компонентной базы Магистерская диссертация зачет экзамен зачет зачет 33 50 33 33 31 Подпись магистранта ___________________ Подпись научного руководителя __________________________________ Подпись руководителя магистерской программы   ___________________ Подпись заведующего   кафедрой   ___________________________________ «___» _____________ Содержание научно­исследовательской части программы: Семестр 1 №  п.п  1 Наименование этапов, позиций Планируемый срок Форма отчетности 01.09. 2015 25. 12. 2015 г.  отчет  Задание на НИР:  Составление   аналитического обзора литературы по методам контроля   формирования топологического   рисунка     на многослойных гетерокомпозициях.  3 Итоговая аттестация  Дифференцированный зачет Подпись магистранта _____________ « ____ » _____________ Подпись научного руководителя _________________________ Подпись руководителя магистерской программы   __________ Подпись зав. кафедрой ___________________________________ Семестр 2 № п.п 1. 1 Наименование этапов, позиций Задание на НИР:  Составление   аналитического обзора литературы по методам контроля формирования топологического   рисунка   на многослойных гетерокомпозициях.    Проведение  патентного поиска по теме исследования. 3 Научно­педагогическая  практика (8 недель) 4 Участие в студенческой  научно­практической   конференции ДГУ (дни  науки) 5 Итоговая аттестация Планируемый срок 01.01.2016 – 30. 05.2016 Форма отчетности отчет Отчет по практике Тезисы доклада по теме диссертации Июнь 2016 г Подпись магистранта _____________ «____» _______________ Подпись научного руководителя _________________________ Подпись руководителя магистерской программы   __________ Подпись зав. кафедрой ___________________________________ Семестр 3 №  п.п  1 Наименование этапов, позиций Задание на НИР (цели, задачи):       выбора травления Целью   работы   является обоснование   метода неразрушающего контроля – ионно­ лучевого гетеро структур   для   оценки   создания топологического рисунка.  Задачи.  1.   Обоснование   выбора     метода контроля   процесса   травления многослойных гетерокомпозиций. 2. технологического Разработка маршрута формирования топологического рисунка.     3.   Обработка   данных,   создание графического   материала     и   анализ проведенных расчетов.     2 Курсовая работа:  Планируемый срок Форма отчетности Отчет 01.09. 2017 ­25.12. 2017 Курсовая работа 3 Научно­производственная практика  Отчет по практике (12 недель) 4 Участие в научной  конференции 5 Подготовка публикаций 6 Итоговая аттестация Тезисы доклада по теме диссертации Подготовка 2 тезисов  Подпись магистранта __________ « ____ » ___________ Подпись научного руководителя ______________________ Подпись руководителя магистерской программы   _______ Подпись зав. кафедрой _______________________________ Предполагаемая тема научной работы в аспирантуре*  _______________________________________________________________ Семестр 4 №  п.п 1 Наименование этапов,  позиций Задание на НИР: Исследование   возможностей метода  неразрушающего контроля   –   ионно­лучевого травления   гетеро   структур (создание  топологического рисунка,   маскирования   и переосаждения). Планируемый  срок Февраль­май 2017 г. Форма отчетности Магистерская диссертация 2 3 4 5 Участие в научно­технической конференции ДГУ Научно­ исследовательская  практика  (14 недель) Подготовка публикаций Защита магистерской диссертации 2017 2017 2017 Июнь 2017     Доклад по  результатам  исследований  (тезисы) зачет и дневник  практики текст диссертация Подпись магистранта __________ «____» _______________ Подпись научного руководителя ________________________ Подпись руководителя магистерской программы   _________ Подпись зав. кафедрой _________________________________