аож 09.2\0'$' ььк 22,38' Р 24

мамандагга (Гайдмы болуы чумкш.

оож 539.2 (075) ььк 22.387

К. 2019

7,

1.  ТЕРМОВАКУУМДЫК ТО ВАНДА] У

багыгта•н •ысж«алы курылычларлы алулын

“io.•piHiH 6ipi 1ермов,акуумдык т.пан.аадлыру зд'с техникаиьш салмарынла, оным йшнде ронокомпоненттер мен ваксы жашырпмлшнн з.•црикалыв бар ПЛСНКмЫ Инте№иды микрсхечалар элсмлер•и жзнс табысты колданылалы.

Бул a.1icxi ксшнсн пайдману бахдлаздагы пне кажсгт тсхноломя.тык опсраииялдрдыц k01T111i.'IiriH журт\зу неймеле;ј, бул дх»мстрнялык оптиканыц. гацардын теоу•сынын. статистикатык физиканын. термомначипнып дене физик•сынын есу эсердфн дайын,зматыи Пјылымларлын ч»ылымдык 03repicrcpiH тустнлфу карым-катынастарды лайдаланута MYMkiRAik —с-дј.

1.1. Термивлык вакуумды тозащаудын физикалых

Вакуумдык тоза№ату прцес{н хухге асы» •tui“

шарпарды жкау кажет:

I №ттын булануын камтамасыз е»:

2) бат пагпан бу шнныи qpy;

3) тосекте заггын конденсщиясын китамкыз «гы

!.l.l. Запык булануы

            Капы зат шомдарынын                 «инсп•плнк

мриа •                                    Дж..•К —                                                Г

кчператур:х

Капн температ№сыи Т “ Тбул дав буланатын вттын т ондары алады хане олар 6ф1ык kir кетед'. ыкгимхлдыгн - кслы ернекпен сипапалуы тик:

Е —атомддрды буга айнидчуга кетхси энергпв. R- турахтысы .

Ьуланумен Яр чепце zepi вряюх боамы. сокгыгнсу   бу